在直讀光譜儀的實際應用中，如C、P、S、As等元素的zui佳光譜線均在真空紫外波段，而空氣中的氧及水蒸氣等會對這些譜線產生強烈的吸收，使光譜強度急劇減弱，影響元素測量，所以應當將光室中的空氣除去。
目前主流市場上主要有兩種方式可以實現真空紫外波段元素的測量：光室抽真空或充惰性氣體（如氬氣、氮氣等）。
抽真空型的直讀光譜儀需要用額外的真空泵，存在油蒸汽污染嚴重、噪聲大等環境問題。同時，功耗高、真空穩定速度慢，儀器需長期開機，浪費嚴重。
光室充惰性氣體能實現真空紫外探測能力的同時，還具有穩定時間短，無噪聲等優點，且能避免由于真空系統造成的光室變形、儀器漂移和環境污染等問題。目前，市場主流光譜儀多采用CCD傳感器作為檢測裝置，光室體積可做到很小，更有利于惰性氣體環境建立，從而得到更好的紫外元素分析效果，且該項技術已經過十多年市場驗證，穩定可靠。
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