全譜直讀光譜儀的測定所得結果與真實含量通常會存在一定的誤差和偏差。誤差是指每次測得的數值與真值之差，而偏差是指每次測得的數值與多次測量平均值之差。但習慣上人們常把誤差與偏差混用而不加區別。根據誤差的性質及其產生原因，誤差可分為:系統誤差(恒定誤差)、偶然誤差(隨機誤差)和過失誤差三種。
( 1)系統誤差：是指在測定過程中，由于某些固定的或按一定規律變化的因素，使測定結果向一個方向偏離真值所出現的誤差。系統誤差的大小在同一實驗中基本上是相同的。測量結果與真值偏離的程度越小，測定結果越正確，系統誤差就越小。只要找出產生系統誤差的原因一般可以通過校正將其扣除。
(2)偶然誤差：在測定中，多次分析結果與真實含量比較,是向兩個不同方向偏離，這時的誤差稱為偶然誤差。偶然誤差有時大、有時小、有時正，有時負，但其正負的出現機會基本相等。并且服從高斯分布定律。產生偶然誤差的原因很多，要完全消除偶然誤差是不可能的。但是，通過誤差分析, 找出產生誤差大的環節，改進分析條件和方法，仍然可以降低一些偶然誤差。
(3)操作失誤誤差：這種誤差也可以稱為差錯，是由于操作不細心、操作不正確所造成的,如樣品順序顛倒,讀錯刻度、記錄或計算錯誤等等。
光譜分析過程，是由若千環節所組成的，每--個環節都產生一定的誤差。當無過失誤差時，光譜分析的誤差來源主要是系統誤差和偶然誤差，所有這些誤差的總和，便決定了光譜分析的準確度。而分析的準確度包含兩方面內容，一是分析的正確性，二是分析的再現性。正確性表示分析結果與真實含量的接近程度。系統誤差小，正確性高。精密度(再現性)表示多次分析結果的離散程度。當沒有系統誤差，或者系統誤差比偶然誤差小得多時，精密度就等于準確度。
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