在火花放電的過程中，一般會使用氬氣做為保護氣體，來噴刷包圍火花所及范圍的金屬表面，這樣才能讓光譜儀讀到各個元素正確的成分與比例。使用氬氣主要的原因是其惰性氣體的特性。在高能量火花激發(fā)金屬表面，產(chǎn)生電漿的過程中，惰性氣體本身不會與電漿中的元素反應(yīng)，并同時隔離周遭的空氣中的元素，這樣才得以精準偵測那些特征峰值在波長200nm 以下的元素，如，碳、氮、硫、磷。
以下是直讀光譜儀需采用高純度氬氣做為保護氣體的主要理由：
1.氬氣屬于惰性氣體，在直讀光譜儀放電過程中，不會與合金成分產(chǎn)生反應(yīng)
2.在火花放電過程，噴刷金屬表面以隔離周遭空氣，避免偵測到空氣中的元素
3.讓光譜儀能夠正確分析特征峰值在波長200nm 以下的元素，如，碳、磷、硫、氮
4.金屬合金元素成分中，不需要知道氬元素
5.氬氣的價格相對便宜，基本上，氬氣<氦氣<氖氣<氙氣
三種惰性氣體常見用途
氦氣：超低溫冷卻、氣相沉積、氣球、潛水服填充。
氖氣：霓虹燈或水銀燈填充、激光（氦氖激光）、電漿研究。
氬氣：金屬焊接、合金分析儀。
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