一、每激發一個試樣前須用軟紙擦凈火花臺，再用電極刷擦凈電極。每班要清理一次火花室,清理火花臺前，先關閉光源，然后擰下火花臺前的電極定位螺桿，卸下火花臺板，小心取出火花室內圓石英墊片和玻璃套管，再用吸塵器清理火花室的黑色沉積物。清理火花室內部后，安裝火花臺板時要用中心距定好中心，再擰緊固定螺絲，然后用電極定距螺桿調整好電極距。再將玻璃套管套在電極。每班要用干凈抹布擦凈儀器外殼，用吸塵器清理凈火花臺面和廢氬排出口的塵物，打掃機房內衛生。
二、每周用吸塵器清理風扇前泡沫過濾片上的灰塵。
三、每月由技術人員進行維護。
注意事項：
一、非崗位人員不得隨便進入機房，機房內禁止吸煙、吃食物。
二、卸下火花臺板時要輕拿輕放，防止內表面劃傷，取出火花室內圓石英墊片和玻璃套管時務必謹慎小心，防止操作不當致其破碎。
三、壓樣品夾子要垂直，不得在未夾好樣品時按激發鍵，不得在激發時觸摸或抬起樣品夾。如果遇到激發時聲音很大，應該按F3 鍵停止，不允許直接抬起樣品夾，否則易造成電路板燒毀。
四、激發樣品后在火花臺內產生黑色沉積物可導致電極與火花臺之間短路,所以火花臺應定期清理。
五、不準亂按鍵盤,操作人員不得進入操作規程規定以外的任何程序,不得按規程規定以外的任何功能鍵。
六、如果遇到突然斷電時,應先關閉總電源,再將其它電源關閉,等到來電后,按規程進行開機操作。
七、儀器發生故障時應及時報告技術人員處理。儀器發生異常現象時,必須馬上關閉電源,保護現場并及時上報。
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